清華大學奈微與材料科技中心
110年寒假奈米與微製程實驗訓練班
課程簡章
◎課程目的：
為增進學生與研究人員在奈米與微製程領域的知識與技術，本中心精心規畫短期半導體理論課程與PMOS實驗訓練課程，做為進入無塵室研究之基礎訓練課程，以增加學員在製程實驗與研究能力上的實務經驗，並替未來奠下良好基礎。
◎課程特色：
師資陣容堅強
理論課程(線上)：由本中心博士級研究人員專業授課；
實驗課程：由操作機台設備經驗豐富之技術人員指導授課。
課程內容完整
理論課程：加強受訓者之無塵室奈米與微製程相關知識及基礎實驗技能。
實驗課程：包括P- Channel Metal Oxide Semiconductor (PMOS)製程影片講解，並實地訓練標準清洗、微影製程、薄膜沉積製程、蝕刻等相關實驗。
課程方案
方案一：理論課程（線上觀看影片）+ 實驗課程
方案二：實驗課程
【註1】：修習過本中心〔理論課程〕+〔實驗課程〕，並通過完整(理論+實驗)考核後，可直接申請參加NDL製程技術機台儀器訓練。
【註2】：修習過附件一(半抵免)課程者，可免上本中心〔理論課程〕，僅需單修〔實驗課程〕，並通過考核後，始能申請本中心製程儀器之訓練及考核。
(線上報名時，請上傳修課證明或成績單)
【註3】：修習過附件二(全抵免)課程者，可直接申請本中心製程儀器之訓練及考核。
一、課程內容
課程方案 | 講義主題 | 授課講員 |
理論課程 （線上觀看影片） | 半導體導論與無塵室基礎設施介紹 | 岑尚仁 |
標準清洗與高溫氧化 | 岑尚仁 | |
擴散製程 | 岑尚仁 | |
微影製程 | 岑尚仁 | |
物理氣相沉積製程（PVD） | 李薇妮 | |
化學氣相沉積製程（CVD） | 李薇妮 | |
蝕刻製程 | 岑尚仁 |
課程方案∕梯次 | 上課時段 | 課程內容 | 授課講員 | 上課地點 | |
實驗課程 第一梯 110年02月23-24日 第二梯 110年02月25-26日 | 第一天 | 08:30～09:00 | 報到 | 創新育成大樓321室 | |
09:00～12:00 | PMOS製程流程詳解 | 張瀞文 吳若穎 戴依馨 郭文鳳 宋明穎 鄭培眉 | |||
13:30～17:30 |
| 清華實驗室 1F無塵室 | |||
第二天 | 08:30～09:00 | 報到 | 創新育成大樓321室 | ||
09:00～12:00 |
| ||||
13:30～17:30 |
| 張瀞文 吳若穎 戴依馨 郭文鳳 宋明穎 鄭培眉 | 清華實驗室 1F無塵室 | ||
量測分析設備介紹 | 李薇妮 劉恩惠 | 創新育成大樓321室 | |||
二、收費標準
課程方案 | 清大 | 學界 | 業界 | |
方案一 | 理論課程（線上觀看影片）+實驗課程 | 3,500元/人 | 5,500元/人 | 8,500元/人 |
方案二 | 實驗課程 | 2,500元/人 | 3,500元/人 | 5,000元/人 |
【註4】：上列費用包含一次考核及一張證書；不提供便當及講義，便當於實驗課程第一天向承辦人林小姐訂購。 | ||||
三、對象與注意事項
對奈米／微機電系統領域有興趣之大四及研究所學生、學界及業界人士皆可報名。
修習方案一學員須觀看完理論課程影片及全程參與現場實驗課程後，並於所屬梯次實驗課程第二天上午參加本中心考核，且測驗成績高於70分者，本中心發予修課證書。
修習方案二學員須全程參與現場實驗課程後，並於所屬梯次實驗課程第二天上午參加本中心考核，且測驗成績高於70分者，本中心發予修課證書。
若各梯次實驗課程報名人數未滿16人者，本中心將延後開課日期，待報滿16人後，再另訂開課日期。
四、報名與繳費辦法
本課程採線上報名(網址：http://140.114.50.48:7480/Account/Login)。
報名截止日期：即日起至110年01月4日中午12點止。
【註5】：接獲繳費通知後，須於3日內，繳交費用；若期限內未繳費，視同放棄，將直接由候補者遞補，本中心將不另行通知，請見諒。
【註6】：繳費完，並接獲〔已入帳〕通知後，方可算報名完成。
【註7】：若尚未確定收據抬頭，報名時可暫不填寫，待確定收據抬頭後，請敬盡速補填。
於〔實驗課程〕開課前7天內（含假日）取消報名者概不退費，其餘酌收1/4報名費為行政處理費，故在報名時，請務必審慎考量，斟酌行事。
於報名截止日(110年01月4日中午12點止)後，不可再更改梯次，若有特殊理由，請洽承辦人林小姐。
五、校內住宿資訊(自費、需自行訂房)
1. 清華會館(https://affairs-guesths.vm.nthu.edu.tw/)
2.清齋10樓短期住宿(https://affairs-guesths.vm.nthu.edu.tw/guest10/)
六、聯絡方式
承辦人：林小姐
電話：(03) 5742264傳真：(03) 5742295 E-mail：[email protected]
地址：新竹市光復路2段101號清華大學奈材中心(創新育成大樓3樓313室)
附件一（半抵免課程）
修習過下表課程者，可免上本中心〔理論課程〕，僅需單修〔實驗課程〕，並通過考核後，始能申請本中心製程儀器之訓練及考核。
開課單位 | 課程名稱 |
(1)國立清華大學電子工程研究所 | 微電子工程(ENE5310) |
(2)國立清華大學工科系 | 半導體製程 |
(3)國立清華大學材料所 | MS5560000奈米電子(Nanoelectronics)、MS437000、MS540400半導體製程 |
(4)國立清華大學微機電系統工程研究所 | 微系統技術與實驗 |
(5)國立交通大學材料所 | 半導體製程、微電子積體電路製程 |
(6)國立交通大學光電系所 | 半導體物理與技術(一、二)、半導體物理、半導體元件及物理、微元件光學、光電子學 |
(7)國立交通大學工學院 | 半導體製造技術導論 |
(8)國立交通大學奈米科技所 | 奈米製造與量測技術 |
(9)國立交通大學機械系 | 微機電製程實驗、微機電技術導論 |
(10)國立交通大學奈米科技研究所 | 半導體製造 |
(11)國立交通大學顯示科技研究所 | 電子薄膜物理與製程技術 |
(12)國立交通大學照明與能源光電研究所(台南分部) | 半導體製程、半導體元件與製程 |
(13)國立交通大學電子物理學系 | 半導體製程技術、半導體科技概論 |
(14)國立交通大學電子系人才培訓中心 | 半導體積體電路製程 |
(15)國立成功大學 | VLSI製程概論班 |
(16)國立成功大學航太系所 | 微機電製造技術、微機電系統概論、微機電製造 |
(17)國立成功大學電機系 | VLSI製程概論、超大型積體電路半導體製程實習 |
(18)國立成功大學電機所/微電子所 | 超大型積體電路工程 |
(19)國立成功大學微電子所 | 半導體製程、半導體及先進奈米化製程技術概論(一&二) |
(20)國立成功大學光電科學與工程研究所 | 半導體製程技術、半導體元件物理(一) |
(21)國立成功大學材料科學及工程學系 | 微電子材料製作工程、微奈米元件製造與設計 |
(22)國立成功大學工程科學研究所 | 半導體製程技術 |
(23)元智大學光電系所 | 光電元件製程、半導體製程技術導論 |
(24)元智大學化工系 | 半導體製程(含實驗) |
(25)元智大學大學電機工程學系 | 積體電路技術 |
(26)國立中央大學光電所 | 光電半導體物理與元件 |
(27)國立中央大學化工與材料工程學系 | 積體體電路製造技術與工廠運作管理(IC Technology and Fab Operation Managements) |
(28)國立中正大學化工系 | 半導體製程技術 |
(29)國立中正大學電機系 | 固態工程(Solid State Engineering) |
(30)國立中山大學大學物理學系 | 半導體奈米元件製造技術 |
(31)國立中山大學大學光電工程學系 | 半導體奈米元件製造技術(EO154) |
(32)中原大學電子工程學系 | ULSI製程技術 |
(33)中原大學機械工程學系 | 微電子工程與整合技術 |
(34)中原大學物理系 | 積體電路製程技術 |
(35)國立中興大學電機工程學系 | 超大型積體電路尖端製造技術 |
(36)國立中興大學物理系 | 半導體製造技術(Semiconductor Manufacturing Technology) |
(37)自強工業科學基金會 | 積體電路製程技術實務、真空與薄膜技術 |
(38)國立台灣科技大學電子系所 | 半導體元件製造工程 |
(39)國立台灣大學材料系所 | 半導體製程技術 |
(40)國立台灣大學電子工程研究所 | 積體電路工程 |
(41)國立台灣大學電機系 | 奈米電子導論(Introduction to Nano-electronics)、半導體工程(Semiconductor Engineering) |
(42)中國文化大學材料科學與奈米科技研究所 | 半導體薄膜與製程 |
(43)中國文化大學電機系 | 半導體工程 |
(44)中國文化大學數位機電科技研究所 | 微電子元件與製程技術 |
(45)國立海洋大學工學院 | 半導體與微機電製程實驗(奈米學程) |
(46)國立海洋大學電機工程學系 | 超大型積體電路學、光電薄膜製程與應用 |
(47)崑山技術學院電子工程系 | 半導體製程訓練班 |
(48)逢甲大學資電學院自控工程學系微機電學程 | 微機電製程原理 |
(49)逢甲大學大學電子工程系 | 超大型積體電路製程(一)&(二)、積體電路後段製程技術 |
(50)高苑科技大學電子工程系 | VLSI製程概論 |
(51)國家奈米元件實驗室 | SM01積體電路製程技術訓練班 |
(52)國家奈米元件實驗室 | IC、TFT-LCD微製程技術 |
(53)國家奈米元件實驗室南區分中心 | 太陽能電池與半導體製程班 |
(54)國立東華大學材料系(所) | 材料基礎實驗(三)微電子製程、微電電子材料與製程、半導體製程 |
(55)國立東華大學光電系所 | 半導體製程、光電半導體製程 |
(56)國立東華大學電機所 | 半導體製程、積體電路製造技術 |
(57)國立高雄大學應用化學系 | 半導體製程概論 |
(58)國立彰化師範大學電子工程系 | 微電子材料與製程、微電子製程與設備 |
(59)國立彰化師範大學光電科技研究所 | 半導體製程 |
(60)國立台北科技大學電子系 | 半導體製程 |
(61)國立台北科技大學機電所 | 新進半導體製程 |
(62)國立台北科技大學電腦與通訊研究所 | 半導體製造技術 |
(63)國立虎尾科技大學機電所 | 半導體製造技術 |
(64)國立聯合大學材料科學工程學系 | 半導體製程 |
(65)清雲科技大學電機工程系 | 半導體元件與製程 |
(66)龍華科技大學電子工程系 | 半導體製程、半導體製程技術 |
(67)國立台南大學光電工程研究所 | 半導體製程技術 |
(68)國立台南大學電機系 | VLSI導論 |
(69)國立高雄第一科技大學機械與自動化工程系 | 微機電系統導論 |
(70)國立高雄大學化學工程與材料工程系 | 半導體製程 |
(71)國立高雄大學應用化學系 | 半導體製程暨設備概論 |
(72)國立高雄海洋科技大學微電子工程系 | 積體電路製程 |
(73)國立高雄大學電機系 | 半導體技術導論 |
(74)國立高雄師範大學電子工程學系 | 積體電路製造、半導體製程技術 |
(75)國立高雄師範大學物理系 | 半導體製程 |
(76)國立高雄應用科技大學電子工程系 | 半導體製程、半導體元件製程 |
(77)國立暨南大學電機系 | 積體電路製程技術（一）（二） |
(78)國立雲林科技大學機械工程系 | 半導體製程技術 |
(79)國立嘉義大學電子物理學系(所) | 半導體物理與元件導論、半導體元件物理、半導體製程技術導論、半導體與光電機械設計、半導體工業技術、 |
(80)國立聯合大學電子系所 | 積體電路製程技術、半導體製程 |
(81)健行科技大學電子系 | 半導體工程 |
附件二（全抵免課程）
修習過下表課程者，可直接申請本中心製程儀器之訓練及考核。
開課單位 | 課程名稱 |
(1)國立清華大學電機工程學系 | 固態電子實驗-半導體製程與實驗、微電子工程實驗 |
(2)國立清華大學工科系 | ESS4810微系統製造與實驗、ESS5810高等微系統製造與實驗 |
(3)國立清華大學材料系 | 半導體與奈米製程實作 |
(4)國立台灣大學電機系 | 半導體專題實驗、電工實驗（半導體） |
(5)國立台灣大學物理系 | 奈米元件的製程與檢測技術 |
(6)國立交通大學次微米人才培訓中心 | 積體電路後段製程實作、IC基礎製程技術（實作課） |
(7)國立交通大學電子系人才培訓中心 | 半導體製程技術實驗(實作課) |
(8)國立交通大學電子系所 | 半導體實驗 |
(9)國立交通大學電物系所 | 半導體實驗 |
(10)國立交通大學材料所 | 材料工程實驗 |
(11)國立中興大學電機工程系所 | 微電子工程實驗、半導體元件實驗 |
(12)國立中山大學光電所 | 半導體製程專題 |
(13)國立中山大學物理系 | 奈米科技認證與實驗 |
(14)國立成功大學電機系 | 半導體氣體感測器專論、半導體感測器實務技術 |
(15)國立成功大學半導體研究中心 | 超大型積體電路人才培訓班 |
(16)國立成功大學光電科學與工程研究所 | 光電半導體製程技術專題(一)、奈米製程專題(一) Special topics on nano-fabrication technologies(I) |
(17)長庚大學電機系 | 半導體工程及實驗 |
(18)長庚大學電子系暨半導體科技研究所 | 半導體實驗 |
(19)國家奈米元件實驗室 | 半導體元件實作課程 「SM01半導體製程技術訓練班+SM01-1半導體製程設備見習班」 |
(20)自強工業科學基金會 | 積體電路製程實務及實驗、積體電路製程實習 半導體製程實作、半導體概論及製程實作 |