高絕緣電阻計
SM7110， SM7120， SM7420
SUPER MEGOHM METER SM7110， SM7120， SM7420
使 用 方 法 自 由 自 在
靜電測試儀
Picoammeter Mode
IR測試儀
SM7120
SM7110
SM7420
最大 1000 V輸出
4通道
微小電流測量
耐雜訊性能提高300倍
6 . 4 m s 測 量
2 0 0 0 V 輸 出
最 快
最 大
2×10
19
Ω顯示
0.1 fA 解析度
最 高
最 小
高 絕 緣 電 阻 計
由堉宸科技代理販售，若有任何問題請洽
www.yuctech.com.tw
2
耐雜訊高穩定測量
OUTPUT
SM7120 : 2000 V輸出
SM7110 : 1000 V輸出
SM7420： 無電壓輸出
高電壓輸出LED
30 V以上輸出時亮燈
(SM7110/SM7120)
INPUT
三軸BNC
偏差縮小1/60、耐雜訊性能300倍
高電阻測量不可或缺的穩定性做到極致
16 mm大口徑三軸轉接頭
電流輸入端子採用的新型大口徑三軸轉接頭，具有內部
屏蔽連接至GUARD（COM）線，外部屏蔽連接至GROUND的
三重同軸結構。這不僅提高了對雜訊的穩定性，還確保
了高電壓檢測時的安全性。
進化的2 kV浮動迴路
新型的SM浮動迴路與三軸轉接頭的組合，大幅
提高了對電源雜訊和外來雜訊的穩定性（重複
精度）。在一般使用環境下的變動為0.007%
（代表值），相較於以往機種減少了1/60。在
注入50 V突發雜訊的條件下，變動更是減少至
1/300
※
。
※與以往機種DSM-8104的比較。
雜訊 0 V
雜訊混入 50 V
0.426%
0.007%
5.26%
0.016%
10 pA
測量
時
的重複
精度CV
值
雜訊環境下的反覆精度[ 1 V施加、SLOW2時]
SM
0.0%
1.0%
2.0%
3.0%
4.0%
6.0%
5.0%
DSM
參雜雜訊的惡劣條件下
約
1/300減少
！
平時的偏差
約
1/60減少
！
SM
DSM
DSM：DSM-8104， SM：SM7120
３重同軸的安全構造
GUARD
INPUT
GROUND
3
圖表LCD
3〜6位數顯示選擇
直接設定按鍵
採用更耐高壓的零件
對應1600個／分的量產
2000V / 2×10
19
Ω測量
最速6.4 ms 的高速檢查
6.4 ms =測量4.1 ms +接觸檢查 2.3 ms
已實現包括接觸檢查在內的檢查時間（從TRIG輸入到INDEX輸出）為
6.4ms，即使包括比較器測量，也實現了7.0ms的高速測量。
使用預充電功能MLCC高速檢查
2000 V/1.8 mA（僅限SM7120）和1000 V/10 mA的大容量設計可縮短樣品的
充電時間。
[標配充電端子]
具備最大50 mA/250 V的預充電功能，實現MLCC量產檢查的高通量。
適合EV等高電壓化環境
近年來，汽車零件和可穿戴設備對
高效率的要求越來越高，這就要求
零件具備更高的耐壓性和絕緣性
能。SM7120在不使用外部電源的情況下即可實現2000 V的輸出，因此可以滿
足未來的檢查需求，讓您使用起來更加安心。
※2×10
19
Ω＝20，000 P(peta)Ω
※SM7120
※SM7110
SM7120
型號
測量通道
最大輸出電壓
SM7110
１ch
1000 V
SM7120
１ch
2000 V
SM7420
４ch
-----
4
[溫濕度同時測量]
由於絕緣電阻對溫濕度的變化相當敏感，因此需要同時管理溫溼度。
具備溫度±0.5℃、濕度±5％RH的高精度溫濕度測量，可以用於新材料的測量管理。
（
選件溫濕度感測器Z2011使用時 溫度 -40℃〜80℃、濕度20％〜80％）
[順序控制] [D/A輸出]
在順序控制模式下，您可以設定「放電」-「充電」-「測量」-「放電」的時間
（最長999.9秒），實現無需使用電腦等設備即可進行重複測量。同時，您可以通過D/A輸出
將測量中的電流變動保存到記錄儀中。
此外，通過USB等外部控制，您還可以進行半導體的耐壓測試和新材料的電壓依存性確認等精
密評估工作。
[自動平均值]
SM系列的自動平均功能可以監控電流變動並自動優化平均值，無需在查看測量結果的同時進
行設定變更作業。這使得在充電電流的過渡響應或接觸不穩定等突發的測量變動情況下，能
夠自動排除，從而獲得穩定的測量結果。
（此外，也可以設定固定次數的平均值，以保持測量條件的一致性。）
[５階段的測量速度]
依據環境FAST，FAST2，MID，SLOW，SLOW2等五種速度切換，可以配合環境將內部積分時間設
為½PLC等。
消除不規則輸入的自動平均值功能
半導體和新材料的評估
重置中
平均值計算中
放電
電壓
電流
DA輸出
充電
測量
放電
順序控制
AUTO平均值的示意圖
有較大變化時進行重置
濕度
溫度
電阻
掌握真正的原因
溫濕度因素
素材因素
[電極預設]
電極和屏蔽箱的材料多樣，能滿足各種需求。
電阻率測量只需輸入使用的電極名稱，系統會自動設置電極參數，讓檢查工作變得簡單且準確。
[ 面板儲存、讀取 ]
電極名稱或順序控制一分鐘設定等各種設定可以做為面板數據統一保存，素材切換時只需讀
取面板數據就可以快速地進行對應。
豐富的電極變化和設定的統一保存
適用於新材料評估的特性
溫濕度感測器
Z2011
轉換頭（下訂生產品Z5010）
測量電極
SM9001
電極．屏蔽箱與SM7110， SM7120連接，需要轉換頭（下訂生產品Z5010）或變更轉接頭。詳細請洽詢業務人員。
※順序控制僅SM7110/SM7120可使用
5
極致追求產線上的實用性
外部電源
SM
外部機器
提生產線建構速度
[外部介面]
和外部的介面有GP-IB，RS-232C，USB共３種，以及標配便於可和程式設置控制器連動
的EXT I/O。
[通訊監控][EXT IO測試]
所有的介面透過通訊監控和EXT I/O測試功能都能進行把握，因此在建構產線時可查看
必要的即時工作狀態與同時進行作業。
EXT I/O測試
↑
準確的錯誤檢查
靈活對應設定更改
[連接線長補償]
無需調整即可更換測量連接線，只需簡單設置登錄連接線的長度
（可登錄連接線長度為0.5m至3.0m）。
一般的電力計或皮安培計配備的靜電容量方式接觸檢查功能，在連接線長度變更時需
要重新設置阻抗配對。而SM系列則無需調整即可進行更換。
[治具容量開路補償]
由於具備治具更換時所需的開路補償，因此SM系列無須繁瑣的調整，即可靈活的應對
產線配置的變化。
方便安裝
[輸入阻抗１ kΩ]
SM7120的所有電流量程，速度設定都設為１kΩ的低輸入阻抗，
因此不會因為「設定時間」而有所延遲。
不會因為量程切換導致降速，最適用於量產的產線。
[最大50 mA/250 V、1.8 mA/2000 V的大容量輸出、低雜訊]
對於像MLCC這樣的電容性試料的絕緣電阻測量，除了檢查速度外，施加電壓時的充電時
間也至關重要。縮短這段充電時間可以有效縮短檢測的週期。SM系列擁有內置的大容
量、低雜訊電源，使其在MLCC等電容性試料的高性能測量中表現卓越，可以放心使用。
高速微少電流測量和大容量輸出適合MLCC的量產生產線
充電時間的縮短和檢查程序的縮短
電流
充電電流
吸收電流
洩漏電流
電壓施加時間
理想狀態
SM7120
縮短到檢查為止
Picoammeter Mode（外部電源）也能使用高性能接觸檢查
[低容量接觸檢查]
具備能夠判斷數pF的低容量電容或容量成分較小被測物的接觸檢查功能。
（判斷基準值0.1 pF〜99.99 pF）
[２band選擇]
在像電池生產線這樣多個測量儀器並存的場合，為了防止微小的檢測訊號混線，可以
選擇接觸檢查的頻率。
這兩種接觸檢查模式也可利用外部電源驅動的皮安培計模式進行。這種高功能接觸檢
查可以防止外部設備的影響導致不必要的重試或過度檢測，從而防止檢測速度降低和
產品良率下降。
[CH獨立接觸檢查]
外部電源專用的SM7420，因為能夠變更各通道的檢查頻率和延遲設定，所以可以配合
產線的設計進行更細緻的設定。
充電時間
）
）
）
）
）
）
＋
−
6
捲筒材料
平板材料
表面/體積電阻測量用電極 SM9001
生產的薄膜、片狀產品及材料、防靜電地板，直接在其原形狀下進行測量。
配合材料和用途的多種電極系列
●
規格標準
JIS C2170、IEC61340-2-3
「用於防止靜電電荷累積的固態平面材料的電阻或電阻率測試方法」
無須切割測試物，可直接測量
無須切割測試物，可直接測量
主機電極使用符合規格尺寸的導電性橡膠，並透過2.5kg的荷重，
只需將其放置在樣品或測量位置上即可進行穩定的測量。此外，支
持高達1000 V的測量電壓，實現高精度測量。
表面電阻測量用檢測治具
SM9002
表面電阻測量用檢測治具
SM9002 使用時
使 用 表 面 電 阻 測 量 用 檢 測 治 具 SM9002
（選購件）可以進行電極的動作確認，這
有助於提高測量結果的信賴性。
●表面電阻測量用檢查治具
●表面電阻測量用檢查治具
SM9002
SM9002
（選件）
（選件）
在使用前檢查
在使用前檢查
●依據標準的電極形狀
主機電極
（SM9001 主機下面）
內徑：φ57 mm
外徑：φ63 mm
主電極
環形電極
φ30.5 mm
支持台一體型對電極
（SM9001 附件）
對電極面
對電極面
電極部分尺寸：
100×100 mm
100
10
0
●主機
●選件
表面／體積電阻測量用電極 SM9001
（低電阻檢查面（500 kΩ）、高電阻檢查面（1 TΩ）、一體型）
表面電阻測量用檢測治具 SM9002
（低電阻檢查面（500 kΩ）、高電阻檢查面（1 TΩ）、一體型）
●電阻率的測量
電阻率測量原理
主電極
對
電極
電極
保護
主電極
對
電極
電極
保護
體積電阻測量
表面電阻測量
電極為無CE對應。
在判斷絕緣材料的良好與否時，使用電阻率（固有電阻）作為評
估指標。電阻率可以進一步分為體積電阻率和表面電阻率，前
者表示在1cm
3
的立方體中，兩個面之間的電阻，而後者則表示在
1cm
2
的平面上的電阻。
高絕緣電阻計SM系列配備了多種電極，使得無論試料的材質或狀
態如何，都能輕鬆進行測量。
電極．屏蔽箱與SM7110， SM7120連接，需要轉換頭（下訂生產品Z5010）或變更轉接頭。詳細請洽詢業務人員。
7
電極／
電極／屏蔽箱的選擇指南
屏蔽箱的選擇指南
電子零件
液體
橡膠製品
地毯
特殊材料
電子零件用材料
印刷電路板
陶瓷電路板
薄膜電容
陶瓷電容
絕緣油
機油
異丙醇
電線
連接線
線束
塗料
地面材料
地毯
IC用托盤
布、紙
藥丸（粉體）
炸藥
食品、醫療用樹脂
電子產品
電子零件
其他
高絕緣的測量
品 質 的 監 視
品 質 的 檢 查
防
靜
電
水 分 監 控
確保法定安全性
SMD 電容用電極
SME-8360
液體被測物用電極
SME-8330
屏蔽箱
SME-8350
砝碼電極
SME-8320
表面 / 體積電阻測量用電極
SM9001
表面電阻測量用電極
SME-8301
表面電阻測量用電極
SME-8302
平板被測物用電極
SME-8310
平板被測物用電極
SME-8311
無須電極
電極為無CE對應。
JISC2101標準，液體被測物用的電
極，電極帶有防護。
總電容：25mL
主電極・對電極間電容：約45pF
電極常數：約500cm
兩電極間間隔：1mm
10
19
Ω・cm(1000V時)下可測量。
液體被測物用電極 SME-8330
※附檢查成績書
附件: 連接線 (長度約60 cm)
（紅）0GA00029 ×1個
（黑）0GA00030 ×1個
尺寸: φ 36 × 140 mm
CE 無對應
測量電容絕緣電阻用電極。治具可從0mm到
11mm間任意調整，能進行各種電容的測量。
互鎖連接線和主機連接、當盒蓋在開路狀
態下測是電壓值為「OFF」。
※
SM-8220系列使用時須進行互鎖連接線的改造。
SMD 電容用電極 SME-8360
CE 無對應
尺寸: 200W × 52H × 150D mm， 測試線長: 85 cm
表面電阻測量用電極 SME-8301
電極前端壓住被測物，就可以測量被
測物的表面電阻。
主要與SM-8213（停產品）組合使用、
測量非靜電表面電阻。可以測量至
10
11
Ω的電阻。
尺寸: φ 60 × 50 mm， 測試線長: 1 m
CE 無對應
可用於測量樹脂的成形品、橡膠的加工品
等形狀為彎曲面或小樣品的表面電阻測量
用電極。
電極前端壓住被測物，就可以簡單測量
表面電阻。電極間隔為10mm可以測量至
10
11
Ω的電阻。
表面電阻測量用電極 SME-8302
尺寸: φ 40 × 115 mm， 測試線長: 1 m
CE 無對應
測量平板被測物固有電阻用之電極。
被測物的尺寸在100mm內，厚度8mm以內皆可測量。
主電極直徑50mm，防護電極內徑70mm，外形80mm。
互鎖連接線和主機連接、當盒蓋在開路狀態下測是
電壓值為「OFF」。
體積電阻和表面電阻的切換可用側邊開關來執行。
※SM7110，SM7120，DSM-8104合使用時需要互鎖連
接線DSM8104F。
JISK6911標準
平板被測物用電極 SME-8310
※SM7110， SM7120連接選件 互鎖連接線 DSM8104F
CE 無對應
尺寸: 215W × 78H × 165D mm
測試線長: 75 cm
測量平板被測物固有電阻用之電極。
被測物的尺寸在40mm〜100mm、厚度8mm以內皆可
測量。
主電極直徑19.6mm，防護電極內徑24.1mm，外形
28.8mm。
外觀與使用方法皆與、SME-8310相同。
※
SM7110，SM7120，DSM-8104組合使用時需要互鎖連
接線DSM8104F。
平板被測物用電極 SME-8311
※SM7110， SM7120連接選件
互鎖連接線 DSM8104F
CE 無對應
尺寸: 215W × 78H × 165D mm
測試線長: 75 cm
屏蔽箱(SME-8350)組合使用的平板被測物用
的電極。
地毯等表面粗糙的被測物也可簡單進行表面
電阻和體積電阻的測量。
主電極直徑50mm，防護電極內徑70mm，外形
80mm，附建構兩電極的同心圓用之治具。
砝碼電極 SME-8320
附件 : 香蕉頭 2 個
CE 無對應
照片為與屏蔽箱 (SME-8350)組合
使用的情況。
測試高絕緣電阻的被測物時，用來作為被測
物的收納箱並起到電磁絕緣的功能。
砝碼電極SME-8320組合使用時，有對電極或
是保護電極構成的電極。
進行電容器和變壓器等電子零件測量時可以
防止外部的雜訊、洩漏電流等，達到穩定的
測量。
※
SM7110，SM7120，DSM-8104組合使用時需要互鎖
連接線DSM8104F。
屏蔽箱 SME-8350
附件: 橡膠墊
尺寸: 250W × 100H × 200D mm
測試線長: 80 cm
CE無對應
※SM7110， SM7120連接選件 互鎖連接線DSM8104F
電極．屏蔽箱與SM7110， SM7120連接，需要轉換頭（下訂生產品Z5010）或變更轉接頭。詳細請洽詢業務人員。
8
一般規格
使用場所
室內使用，污染度2，高度2000 m
使用溫濕度範圍
0℃〜40℃、 80% RH以下、 未結露
保存溫濕度範圍
-10℃〜50℃、 80% RH以下、 未結露
電源/最大額定功率
AC100 V〜240 V (50 Hz/60 Hz) : 45 VA
耐電壓
AC 4，000 V，靈敏度電流10 mA
[全部電源端子] ― [保護接地，介面，測量端子]間
適合規格
EMC：EN61326
安全性：EN61010
尺寸/重
量
SM7110/SM7120
SM7420
: 330W×80H×450D mm， 5.9 kg
: 330W×80H×450D mm， 6.5 kg
附件
電源線×1、使用說明書×1、CD
-R（通訊指令使用說明書、USB驅動）
EXT I/O用公頭轉接頭×1
SM7110/SM7120 :短路插頭×1
項目
SM7110 / SM7120
SM7420
測量通道
１CH
４CH
測量項目
直流電流、直流電壓、溫度、濕度
直流電流、溫度、濕度
施加電壓
SM7110：0.1 V〜1000.0 V
SM7120：0.1 V〜2000.0 V
-----
測量方式
在被測量物施加定電壓的電流測量方式
電流計
警
告顯示
電壓輸出值 約30 V以上時紅色LED亮燈
-----
電流輸入端子
三軸BNC轉接頭
三軸BNC轉接頭
電壓輸出端子
香蕉頭端子
-----
COM端子
-----
香蕉頭端子
充電電壓輸出端子
香蕉頭端子
-----
GUARD端子
香蕉頭端子
-----
互鎖輸入端子
BNC端子
-----
對地最大額定電壓
DC 2000 V
電流計輸入電阻
1 kΩ±10％
顯示更新速度
200 ms ± 5 ms （測量中描繪更新ON/OFF ）
顯示模組
單色圖表LCD
精度保證條件
精度保證溫濕度範圍
23℃±5℃、80% RH以下
暖機時間
30分以上
電源頻率範圍
50 Hz/60 Hz±2 Hz
溫度係數
0〜18℃、28〜40℃時加算(測量精度×1/10)/℃
測量規格
基本規格
功能規格
項目
SM7110 / SM7120
SM7420
測量值顯示模式
顯示 1：電阻 / 電流 / 表面電阻率 ΩRS
/ 體積電阻率 ΩRV
/ 液體體積電阻率 ΩRL中選擇１項目
○
顯示 2：測量電壓（電壓監控）
×
顯示方式 EXP（指數顯示）或 UNIT（單位顯示）、有效位數３位數〜６位數
○
電壓輸出功能
SINK/SOURCE（支援充電及放電）
輸出 OFF 時選擇 放電 / 高阻抗（Hi-Z）
×
電阻演算用電壓
V.MONI（電壓測量值）/ MES.V（電壓設定值）/ EXT.V（演算用電壓設定值）中選擇
僅 EXT.V
延遲功能
設定從觸發輸入到測量開始為止的時間
全 CH 共通
平均值功能
測量值的平均化（OFF / ON / AUTO)
ON 2 〜 255
AUTO 根據測量值變化量自動變更平均次數
全 CH 共通
自我校正
設定時間 1 s 〜 600 s ※ 電源開啟時自動實行
○
連接線長補償功能
補償範圍 0.5 m 〜 3.0 m
各 CH
治具容量
開路補償功能
顯示範圍 0.00 pF 〜 99.99 pF
容量測量精度 ±（ 20％ rdg. ± 0.1 pF ）
各 CH
接觸檢查功能
基於高頻訊號的靜電容量測量方式
顯示範圍 0.000 pF 〜 99.999 pF
測量頻率 300 kHz / 245 kHz
各 CH
比較器功能
dgt. 值判斷（Hi，IN，Lo）
○
順控程式
放電、充電、測量、放電的依序進行
測量：1 ms 〜 999.9 s 、測量以外： 0 ms 〜 999.9 s
×
其他功能
判斷音設定功能、互鎖功能、重啟、自我測試
○
無互鎖
9
電壓測量精度
電壓發生精度
輸出 OFF 時設定
ー放電或 Hi-Z
溫濕度測量精度
電流測量精度
電阻顯示範圍例
精度規格
SM7110/SM7120 電壓規格
電壓發生 電流限制
測量時間：INDEX 時間
（接觸檢查 ON 時）
測量時間例
精度保證期間 1年
請注意，電極的耐壓為 1000 V
量程
最大顯示
解析度
電流測量精度（±％rdg. ± dgt. ）
FAST / FAST2
MED
SLOW
SLOW2
20 pA
19.9999 pA
0.1 fA
－
－
2.0＋450
2.0＋30
200 pA
199.999 pA
1 fA
－
1.0＋600
1.0＋45
1.0＋30
2 nA
1.99999 nA
10 fA
0.5＋600
0.5＋40
0.5＋30
0.5＋20
20 nA
19.9999 nA
100 fA
0.5＋30
0.5＋20
0.5＋15
0.5＋10
200 nA
199.999 nA
1 pA
0.5＋30
0.5＋20
0.5＋15
0.5＋10
2 μA
1.99999 μA
10 pA
0.5＋30
0.5＋20
0.5＋15
0.5＋10
20 μA
19.9999 μA
100 pA
0.5＋30
0.5＋20
0.5＋15
0.5＋10
200 μA
199.999 μA
1 nA
0.5＋30
0.5＋20
0.5＋15
0.5＋10
2 mA
1.99999 mA
10 nA
0.5＋30
－
－
－
充電設定
設定電壓範圍
設定值
總電流
電流值
測量系
充電系
ON
0.1 V 〜 250.0 V
50 mA
50 mA
5 mA
45 mA
10 mA
10 mA
5 mA
5 mA
5 mA
5 mA
5 mA
0 mA
250.1 V 〜 1000.0 V
10 mA
10 mA
5 mA
5 mA
5 mA
5 mA
5 mA
0 mA
1000.1 V 〜 2000.0 V
※
1.8 mA
1.8 mA
1.8 mA
0 mA
OFF
0.1 V 〜 250.0 V
50 mA
50 mA
50 mA
0 mA
10 mA
10 mA
10 mA
0 mA
5 mA
5 mA
5 mA
0 mA
250.1 V 〜 1000.0 V
10 mA
10 mA
10 mA
0 mA
5 mA
5 mA
5 mA
0 mA
1000.1 V 〜 2000.0 V
※
1.8 mA
1.8 mA
1.8 mA
0 mA
量程
最大顯示
解析度
電壓測量精度
（ ±%rdg. ±dgt.）
10 V
10.000 V
0.001 V
0.03＋2
100 V
100.00 V
0.01 V
0.03＋2
1000 V
1000.0 V
0.1 V
0.03＋2
2000 V※
2000.0 V
0.1 V
0.2 ＋2
設定電壓範圍
解析度
電壓發生精度
（ ±%setting. ±％f.s.）
從START訊號開始
到電壓輸出的時間
0.1 V 〜 10.0 V
0.1 V
0.1＋0.05
0.1 ms max.
10.1 V 〜 100.0 V
0.1 V
0.1＋0.05
0.1 ms max.
100.1 V 〜 1000.0 V
0.1 V
0.1 ＋0.05
0.1 ms max.
1000.1 V 〜 2000.0 V※
0.1 V
0.2 ＋0.10
0.1 ms max.
測量速度設定
電源頻率
（內部積分時間）
PLC: Power Line Cycle
50 Hz
60 Hz
FAST
2 ms
6.4 ms
6.4 ms
FAST2
0.5PLC
16.0 ms
15.0 ms
MED
１PLC
26.0 ms
23.0 ms
SLOW
4PLC
112.0 ms
96.0 ms
SLOW2
13PLC
322.0 ms
322.0 ms
溫度精度範圍
-40.00℃〜 80.00℃ ±0.5℃
濕度精度範圍
20.0％ RH 〜 80.0％ RH ± ５％ RH
接觸檢查
( 2.3 ms )
比較器測量
( 0.2 ms )
測量速度設定(電源頻率）
FAST (50 Hz)
FAST2 (60 Hz)
INDEX
EOM
EOM(SM7420)
INDEX
EOM
EOM(SM7420)
OFF
OFF
4.1 ms
4.5 ms
5.4 ms
12.7 ms
13.1 ms
14.0 ms
OFF
ON
4.1 ms
4.7 ms
5.6 ms
12.7 ms
13.3 ms
14.2 ms
ON
OFF
6.4 ms
6.8 ms
7.7 ms
15.0 ms
15.4 ms
16.3 ms
ON
ON
6.4 ms
7.0 ms
7.9 ms
15.0 ms
15.6 ms
16.5 ms
與溫濕度感測器 Z2011 組合時
INDEX 時間 ：接觸檢查時間 + 延遲時間 + 測量時間
EOM 時間 ：INDEX ＋比較器測量時間＋ 0.4 ms ※ 使用電阻演算算出電壓測量值時須加算 1.0 ms
EOM（SM7420）
：INDEX ＋比較器測量時間＋ 1.3 ms
SM7420 沒有電壓發生以及測量功能。
※SM7120 專用量程
測量值包含輸入電阻 1 kΩ（±10%）
※SM7120 專用量程
※SM7120 專用量程
量程
解析度
依照設定電壓的電阻顯示範圍範例
0.1 V
10 V
100 V
1000 V
2000 V
(SM7120專用量程)
20 pA
0.1 fA
5E+9 Ω 〜
1E+15 Ω
500E+9 Ω 〜
100E+15 Ω
5E+12 Ω 〜
1E+18 Ω
50E+12 Ω 〜
10E+18 Ω
100E+12 Ω 〜
20E+18 Ω
200 pA
1 fA
500E+6 Ω 〜
100E+12 Ω
50E+9 Ω 〜
10E+15 Ω
500E+9 Ω 〜
100E+15 Ω
5E+12 Ω 〜
1E+18 Ω
10E+12 Ω 〜
2E+18 Ω
2 nA
10 fA
50E+6 Ω 〜
10E+12 Ω
5E+9 Ω 〜
1E+15 Ω
50E+9 Ω 〜
10E+15 Ω
500E+9 Ω 〜
100E+15 Ω
1E+12 Ω 〜
200E+15 Ω
20 nA
100 fA
5E+6 Ω 〜
1E+12 Ω
500E+6 Ω 〜
100E+12 Ω
5E+9 Ω 〜
1E+15 Ω
50E+9 Ω 〜
10E+15 Ω
100E+9 Ω 〜
20E+15 Ω
200 nA
1 pA
500E+3 Ω 〜
100E+9 Ω
50E+6 Ω 〜
10E+12 Ω
500E+6 Ω 〜
100E+12 Ω
5E+9 Ω 〜
1E+15 Ω
10E+9 Ω 〜
2E+15 Ω
2 μA
10 pA
50E+3 Ω 〜
10E+9 Ω
5E+6 Ω 〜
1E+12 Ω
50E+6 Ω 〜
10E+12 Ω
500E+6 Ω 〜
100E+12 Ω
1E+9 Ω 〜
200E+12 Ω
20 μA
100 pA
5E+3 Ω 〜
1E+9 Ω
500E+3 Ω 〜
100E+9 Ω
5E+6 Ω 〜
1E+12 Ω
50E+6 Ω 〜
10E+12 Ω
100E+6 Ω 〜
20E+12 Ω
200 μA
1 nA
1E+3 Ω 〜
100E+6 Ω
50E+3 Ω 〜
10E+9 Ω
500E+3 Ω 〜
100E+9 Ω
5E+6 Ω 〜
1E+12 Ω
10E+6 Ω 〜
2E+12 Ω
2 mA
10 nA
1E+3 Ω 〜
10E+6 Ω
5E+3 Ω 〜
1E+9 Ω
50E+3 Ω 〜
10E+9 Ω
500E+3 Ω 〜
100E+9 Ω
1E+6 Ω 〜
200E+9 Ω
電阻精度
電流測量精度＋電壓測量精度
電阻值計算為選擇電壓設定值時，但不保證精度。
10
根據可編程控制器的共通端極性，輸入信號
的極性可以選擇NPN類型（對應下拉輸出）
和PNP類型（對應上拉輸出），通過背面板
上的切換開關進行選擇。
t1：0.1 ms以上、t2：0.1 ms以上、t7：0.1 ms以上 t3，t6:延遲
t4 （t5）：電壓輸出（停止）時間 0.1 ms以內、t8：可接受觸發 0 s以上
t9：INDEX，EOM延遲時間、t10：INDEX時間、t11：START設定完成時間 4ms以上
t12：TRIG設定時間 顯示ON（40 ms以上） 顯示OFF（1 ms以上）
t13：EOM時間
EXT I/O介面(帶測試功能）
SM7110/SM7120
SM7420
NPN/PNP
NPN/PNP
切換開關
切換開關
TRIG
START
STOP
VON
電壓輸出
INDEX
EOM
t1
t2
ON
OFF
接觸檢查
延遲
接觸檢查延遲
測量
t9
t4
t3
t5
t6
t7
t8
t10
t12
t13
t11
時序圖（電壓輸出、外部觸發測量）
輸入訊號
輸入形式
光電耦合器絕緣 無電壓接點輸入
（電流SINK輸出對應）（負論理）
輸入ON電壓
1 V以下
輸入OFF電壓
OPEN（遮斷電流100 μA以下）
輸出訊號
輸出形式
光電耦合器絕緣npn開路漏極輸出
（無極性）
最大負載電壓
30 ΩV
最大輸出電流
50 mA/ch
殘留電壓
0.5 V（10 mA）、1.0 V（50 mA）
內置
絕緣電源
輸出電壓
SINK輸出對應：+5.0 V ±10%
SOURCE
輸出對應：-5.0 V ±10%
最大輸出電流
100 mA
外部電源輸入
無
絕緣
保護接地電位或測量迴路及測量電路變動
絕緣額定
對地電壓DC 50 V、AC 33 V rms、AC 46.7 V
peak以下
使用轉接頭（主機側）
適合轉接頭
：D-SUB 37Pin 母頭 #4-40 英吋螺絲
：DC-37P-ULR（半田型）、DCSP-JB37PR（壓接型）
日本航空電子工業公司製造
轉接頭
USB， RS-232C， GP-IB的收發內容可以在面板上進行監視。
D/A輸出
互鎖輸入(SM7110/SM7120)
TEMP.SENSOR端子
COM端子（SM7420)
通訊監控
GP-IB介面
方式
IEEE-488.2 標準
介面功能
SH1，AH1，T6，L4，SR1，RL1，PP0，DC1，DT1，C0
地址
0〜30
RS-232C介面
轉接頭
D-sub 9Pin轉接頭 公頭＃4-40英吋螺絲
通訊方式
全雙工，非同步方式，停止位元bit1（固定），數據長度8
（固定），無奇偶校驗，無流量控制
通訊速度
(bps)
4800 / 9600 / 19200 / 38400 / 115200
USB裝置
轉接頭
系列B插座/接收器
電氣的規格
USB2.0(Full-speed)
等級
CDC等級（COM模式）
HID等級（USB鍵盤模式）
輸出端子
BNC端子
輸出電壓
DC 0 V〜2 V：電流量程的F.S.時為2.0 V
（SM7420選擇輸出ch）
輸出阻抗
1 kΩ
輸入端子
BNC端子
（EXT I/O端子並列）
互鎖動作
設定有效時、Lo輸入或端子間短路的互鎖解除
功能有效時動作
測量電壓的輸出停止、測量停止
通過按鍵、通訊無法測量
可輸入感測器
溫濕度感測器 Z2011
輸入端子
香蕉頭端子
D/A輸出端子
互鎖輸入端子
EXT I/O
NPN/PNP切換
USB
GP-IB
背面有外部電源連接用的COM端子
（測量GROUND)
RS-232C
TEMP.SENSOR端子
外部介面
※SM7110/SM7120
11
產品名： 高絕緣電阻計 SM7110
高絕緣電阻計 SM7120
高絕緣電阻計 SM7420
選件
型號（下單編號）
測量通道
最大輸出電壓
備註
SM7110
１ch
1000 V
SM7120
１ch
2000 V
SM7420
４ch
-----
微少電流測量專用
轉換頭Z5010為下訂生產品。若有需求請洽業務人員。
主機無標配測量用探棒。 請依據測量用途購買選件的探棒。
探棒
針型測試線（紅）L2230
PIN TYPE LEAD(RED)
連接線長 1 m
夾型測試線（紅）L2232
CLIP TYPE LEAD(RED)
連接線長 1 m
夾型測試線（黑）L2233
CLIP TYPE LEAD(BLACK)
連接線長 1 m
單側無接頭測試線（紅）L2234
OPEN LEAD(RED)
連接線長 3 m
溫濕度感測器 Z2011
HUMIDITY SENSOR
連接線長 1.5 m
單側無接頭測試線（黑）L2235
OPEN LEAD(BLACK)
連接線長 3 m
針型測試線（黑）L2231
PIN TYPE LEAD(BLACK)
連接線長 1 m
0201
尺寸
※
對應 SMD試料用電極 SM9060
中空固定結構，能夠無視治具表面電阻的極小貼片專用電極
0201尺寸可輕鬆夾取
0201尺寸可輕鬆夾取
操作性
操作性
測量性能
測量性能
利用中空固定準確測量
利用中空固定準確測量
×
×
請注意:電極與絕緣高阻計連接需要使用Z5010適配器或是轉換器。
通過導槽可以輕鬆將極小的貼片固
定住，使用專用的無線探棒穩固的
維持住被測物。
檢查過程中檯子下降，可無視表面電
阻，因此可準確測量被測物。
※EIA SIZE:008004
高絕緣電阻計用的校正電阻箱。採用可確實保護
高絕緣電阻計主機的構造。
最高使用電壓: DC1，000 V
電阻: 1 M〜10，000 MΩ (24點構成)
電阻箱 SR-2
※附帶檢查成績表
尺寸: 270W × 90H × 195D mm
CE無對應
其他
互鎖連接線 DSM8104F
長度0.1 m， CE無對應
PC
通訊
RS-232C連接線9637
PC連接用， 9pin -9pin，
交叉型， 1.8 m
轉換頭（下訂生產品Z5010）
電極．屏蔽箱和SM7110， SM7120
的連接， CE無對應
GP-IB連接線9151-02
連接線長 2 m
SM7110， SM7120用
結合4ch微小電流專用高絕緣電阻計SM7420與外部電源，或專門為洩漏電流檢查開發的8ch高絕緣電阻計SM7810與32ch輸
出的電源模組SM7860，構成高速檢查系統。此系統最適合搭載於自動機上，可構建最高速的MLCC洩漏電流檢查線。
８CH洩漏電流檢查系統
MLCC洩漏電流檢查系統的特徵
高絕緣電阻計 SM7420（４CH） / SM7810（８CH）
電源模組 SM7860
MLCC專用洩漏電流檢查系統
在MLCC檢查中提供最大輸送量
● 使用高絕緣電阻計SM7810可以進行8通道同時測量，以
業界最快的6.8 ms實現MLCC洩漏電流檢查線，減少自動
機的工作節拍時間，從而降低MLCC大量生產線的成本。
● 電源模組SM7860可根據最大施加電壓和功能進行選擇，
適用於包含充放電在內的各種檢查線。
■ SM7860規格
■ SM7860規格
輸 入 / 輸 出 端 子
電壓輸出端子（背面）：
圓形特殊轉接頭（8ch對應）
外
部
介
面
（條件設定、操作）
GP-IB， RS-232C， EXT I/O
（GP-IB地址以外，所有條件設定，操作都透過外部介面進行）
對
應
機
種 高絕緣電阻計SM7810
功
能 電壓輸出
動 作 方 式 SINK／SOURCE，充電或放電
發 生 控 制 EXT I/O的OUTPUT訊號為ON時輸出
輸出ON/OFF 可各通道個別設定
電壓異常警告
監控電壓在設定範圍外時發出警告，可設定範圍：±2〜±19%
（解析度1%）
電 流 制 限
制限方法：各通道獨立制限
電流制限方向：可雙向電流制限
電 壓 監 控 測量並顯示各系統的輸出電壓
限
制
事
項
電壓施加對象：積層陶瓷電容
充電通道數：8ch以內/系統
動作條件：對充電間隔有限制
■ SM7810規格
■ SM7810規格
通
道
數 8ch
測
量
方
式 被測量對象施加電壓並測量電流
施
加
電
壓 從外部電源供給（背面的電壓輸入端子）
電流計輸入電阻 1 kΩ
外
部
介
面
（條件設定、操作）
GP-IB， RS-232C， EXT I/O
（GP-IB地址以外，所有條件設定，操作都透過外部介面進行）
測 量 值 顯 示 模 式 電阻／電流
測
量
速
度 FAST， MED， SLOW， SLOW2
測
量
範
圍 電流：1 pA〜1 mA、電阻：1×10
2
Ω〜1×10
15
Ω
量
程
切
換 HOLD / AUTO
觸
發
延
遲 0 ms〜9999 ms （解析度1 ms）
平 均 化 功 能
平均化方法：移動平均、
OFF / ON（1〜255） / AUTO
測 量 電 壓 設 定 0.1 V〜1000.0 V （解析度0.1 V）
測 量 值 比 較 ．
判
斷
功
能
測量值與基準值比較
判斷：HI，IN，LO
判斷基準設定範圍：-9.9999E30〜9.9999E30
功
能
接觸檢查功能／治具容量開路補償功能／
治具電阻開路補償功能
詳細規格請參考「高絕緣電阻計SM7810/電源模組SM7860」的單品型錄。
2024 年 07 月第一版 /2304
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